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도금 패터닝 및 절연기능을 가진 기능성 폴리실세스퀴옥산 소재 및 이를 이용한 절연층 및 배선의 동시 형성 방법

Author

황승상; 홍순만; 백경열; 최유미; 이성수; 김선준; 구종민

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2024-02-29

Registration No.

10-2644039

Application Date

2021-05-07

Application No.

10-2021-0058994

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/149475

Appears in Collections:

KIST Patent > 2021

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