KIST Library Institutional Repository

원자층증착법을 이용한 고유전 SrTiO3 박막 형성 및 이를 이용한 커패시터 제조 방법

Author

김진상; 최지원; 송현철; 김성근; 백승협; 강종윤; 허성훈; 정홍근; 장지수

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2025-11-04

Registration No.

10-2882748

Application Date

2024-03-04

Application No.

10-2024-0030526

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/153479

Appears in Collections:

KIST Patent > 2024

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