DSpace at KIST: 레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 .

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레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 .

Title: 레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 .

Authors: 박경현; 변영태; 김선호; 최상삼

Keywords: 레이저 리소그라피 시스템; negative 마스크 제작법; negative PR; image revesal 기술; lift-off 방법

Issue Date: 1992-01

Publisher: 한국물리학회 논문초록집

Citation: VOL 10, NO 2, 363-363

URI: https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/21565

Appears in Collections:: KIST Publication > Conference Paper

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