DSpace at KIST: 활성화 금속이온빔, 산소가스이온빔, 하이브리드이온빔에 의해 형성된 산화주석 (Tin Oxide) 박막의 특성

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활성화 금속이온빔, 산소가스이온빔, 하이브리드이온빔에 의해 형성된 산화주석 (Tin Oxide) 박막의 특성

Title: 활성화 금속이온빔, 산소가스이온빔, 하이브리드이온빔에 의해 형성된 산화주석 (Tin Oxide) 박막의 특성

Authors: 정형진; 고석근; 최원국; 송석균; 백홍규; 이정용

Issue Date: 1996-01

Publisher: 응용물리 ( 한국물리학회지 )

Citation: VOL 9, NO 5, 686-691

URI: https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/24579

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