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스퍼터링 증착조건이 HgCdTe 표면 보호막으로 사용된 Silicon Nitride 박막의 전기적 특성에 미치는 영향

Title
스퍼터링 증착조건이 HgCdTe 표면 보호막으로 사용된 Silicon Nitride 박막의 전기적 특성에 미치는 영향
Authors
정용철; 안세영; 이학준; 최덕균; 김진상
Keywords
스퍼터링; 표면보호막; SiN
Issue Date
2004-02
Publisher
제11회 한국반도체 학술대회 논문집
Citation
, NO 2, 523-524
URI
https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/25626
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KIST Publication > Conference Paper
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