Electrical and optical properties of MTO/Ag nanowire/MTO Multilayer Transparent Conducting Layer for Flexible Electronics

Abstract

투명 전도성막은가시광선 영역의 빛을 투과하는 동시에 높은전기전도도를 갖고 있어 Touch panel, LCD, OLED, Solar cell 등의 다양한 광전자소자에 적용되고 있다. 현재 가장 널리 사용되고 있는TCO소재로는 면저항과 투과도가 우수한ITO(Indium Tin Oxide)이지만 Indium의 한정적 자원이 ITO의 가격 상승의 원인이 되고 있을 뿐만 아니라 유연전자용 투명 전도막으로는 한계가 있어 이를 대체할 물질개발이필요하다. 본 연구에서는 RF magnetron sputtering법으로 상온 증착한Mn-doped SnO2 (MTO)박막 사이에 Ag nanowire(AgNW)를spray coating하여 MTO/AgNW/MTO의 multilayer로 이루어진 투명전도성 전극을 glass위에 형성하였다.투명전극의 최적화를 위해 가스 분압 및 종류 등 MTO 박막 제조공정을 제어 하였으며, AgNW의 농도 등을 변화시켜제작한MTO/AgNW/MTO multilayer 투명전극은가시광선영역(400~700nm)에서 90% 이상의 평균 투과율과20Ω/□ 이하의 우수한면저항 특성을 나타내었다.