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다층 박막 구조를 갖는 미러

Title
다층 박막 구조를 갖는 미러
Authors
김선호; 김용태; 김재헌; 성하민; 우덕하; 이석; 전영민; 조운조
Issue Date
2013-02-18
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은, 다층 박막 구조를 갖는 미러로서 ZrN(Zirconium nitride) 층과 Si(Silicon) 층이 번갈아가며 적층되어 형성된다.
URI
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KIST Patent > 2013
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