압전 복합체를 이용한 플렉서블 압전 에너지 하베스팅 소자의 제조 방법 및 이로부터 제조된 플렉서블 압전 에너지 하베스팅 소자

Abstract

본 발명은 압전 복합체를 이용한 플렉서블 압전 에너지 하베스팅 소자의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 제조방법은 제 1 플렉서블 기판 상에 제 1 전극층을 형성시키는 단계

상기 제 1 전극층에 압전 파우더와 중합체를 혼합한 압전 복합체층을 스핀 코팅하는 단계

상기 압전 복합체층을 열처리하여 경화시키는 단계

및 상기 경화된 압전 복합체층 상에 제 2 전극층이 형성된 제 2 플렉서블 기판을 접합시키는 단계를 포함하며, 이와 같이 압전 파우더와 중합체를 혼합하여 제조된 압전 복합체층을 도입하여 플렉서블 압전 에너지 하베스팅 소자를 구현함으로써 단순한 공정과 다양한 크기와 패턴을 가진 고효율의 플렉서블 압전 에너지 하베스팅 소자를 제작할 수 있다.