평면형 다단 열전 모듈 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 평면형 다단 열전 모듈 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판

상기 기판 상에 형성된 절연 멤브레인

및 상기 절연 멤브레인 상에 형성되고, N-형과 P-형 열전 박막이 전극 배선을 통해 전기적으로 연결된 열전 셀들을 가지는 열전 소자를 포함하되, 상기 열전 소자가 절연 멤브레인의 평면 방향으로 2단 이상 배열된 평면형 다단 열전 모듈을 제공한다. 또한, 본 발명은 기판 상에 절연 멤브레인을 형성하는 단계

상기 절연 멤브레인 상에 N-형과 P-형 열전 박막을 포함하는 열전 셀들을 형성하되, 상기 열전 셀들을 절연 멤브레인의 평면 방향으로 2단 이상 배열하는 단계

상기 N-형과 P-형 열전 박막이 전기적으로 연결되도록 전극 배선을 형성하는 단계

및 상기 기판의 배면을 에칭하는 단계를 포함하는 평면형 다단 열전 모듈의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 박막 상으로 패터닝하여 열전 소자를 형성하되, 열전 소자를 평면 방향으로 2단 이상 다단 배열하여, 국소적인 부위에 대해서 우수한 열전 특성(냉각/가열 능력)을 갖는다.