필름형 열전소자의 제조방법

Abstract

본 발명은 필름형 열전소자의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 열전소재 필름을 얻은 다음, 상기 열전소재 필름을 전극이 형성된 기판 상에 전사하여 제조하는 필름형 열전소자의 제조방법을 제공한다. 바람직한 구현예에 따라서, 본 발명은 (1) 지지체 상에 희생막을 형성하는 단계

(2) 상기 희생막 상에 열전소재 필름을 형성하는 단계

(3) 상기 열전소재 필름 상에 폴리머 필름을 형성하여, 지지체 상에 희생막, 열전소재 필름 및 폴리머 필름이 형성된 적층체를 얻는 단계

(4) 상기 적층체의 희생막을 제거하여 지지체와 열전소재 필름을 분리하는 단계

(5) 상기 분리된 열전소재 필름을 전극이 형성된 기판 상에 전사하는 단계

및 (6) 상기 열전소재 필름 상에 형성된 폴리머 필름을 제거하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 기판의 제약이 없으며, 열전 성능이 향상된 고품질의 필름형 열전소자를 제조할 수 있다.