칼코지나이드 재료를 이용한 국소 표면 플라즈몬 공진 센서 및 이의 제조 방법

Abstract

국소 표면 플라즈몬 공진(Localized Surface Plasmon Resonance) 센서는 칼코지나이드 재료로 이루어지는 국소 표면 플라즈몬 여기층을 포함할 수 있다. 칼코지나이드 재료는, 셀레늄(Se) 및 테룰륨(Te) 중 하나 이상을 포함하는 제1 재료

및 게르마늄(Ge) 및 안티모니(Sb) 중 하나 이상을 포함하는 제2 재료를 포함할 수 있다. 국소 표면 플라즈몬 여기층은, 칼코지나이드 재료로 이루어지는 박막을 형성하고, 박막에 레이저를 조사하여 이를 미리 결정된 형상으로 결정화함으로써 제조될 수 있다.