금속 산화물 패턴의 형성 방법 및 이를 이용한 박막 트랜지스터 제조 방법

Abstract

금속 산화물 패턴의 형성 방법 및 이를 이용한 박막 트랜지스터 제조 방법에 관한 것으로, 적어도 하나의 금속 산화물 전구체 또는 금속 산화물 나노 입자

및 용매를 포함하는 잉크 조성물을 준비하는 단계

상기 잉크 조성물을 기판 상에 토출시켜 상기 기판 상에 패턴을 형성시키는 단계

및 상기 형성된 패턴을 광소결하는 단계

를 포함하고, 상기 금속 산화물 전구체는 이온 형태인 것인 금속 산화물 패턴의 형성 방법을 제공할 수 있다.