투명 산화물 전극을 포함하는 가스 센서 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 투명 산화물 전극을 포함하는 가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판

상기 기판 상에 형성된 감지 전극

및 상기 감지 전극 상에 형성된 가스 감응 물질층을 포함하고, 상기 감지 전극이 투명 전도성 산화물 박막으로 구성된 가스 센서 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 감지 전극이 투명 산화물 전극으로 구성되어, 저가격화를 도모함과 동시에 감응도가 향상되고, 높은 신뢰성 및 투명성 등을 갖는다.