다중 센서용 프로브 스테이션

Abstract

본 발명은 상부 몸체 및 상기 상부 몸체에 힌지 연결된 하부 몸체

프로브가 하단으로 연장되게 고정되어 있으며 상기 상부 몸체의 하단으로 상기 프로브가 노출되도록 상기 상부 몸체에 결합되는 프로브 척

상기 프로브 척을 승강 동작시키며 상기 상부 몸체에 설치되는 프로브 승강부

및 상기 상부 몸체가 상기 하부 몸체에 대하여 닫혔을 때 상기 하부 몸체에는 상기 프로브 척의 하부 위치에 센서 안착홈이 형성되고, 상기 센서 안착홈의 바닥면을 이루며 상기 프로브가 접촉 가능하게 설치되는 센서 지지판

을 포함하며, 외부에서 인가되는 검사 전류가 상기 프로브를 통하여 상기 센서 지지판에 안착되는 다중 센서에 인가되는 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공한다.