산화물 박막 소자의 제조방법

Abstract

본 발명은 산화물 박막 소자의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 성장기판 상에 산화물 박막을 형성하는 단계

상기 산화물 박막 상에 소자기판을 접합하는 단계

상기 성장기판에 레이저를 조사하여 성장기판과 산화물 박막을 분리하는 단계

및 상기 분리된 산화물 박막의 표면에 산소 플라즈마를 가하여 산화 및 표면 처리하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 레이저 조사에 의해 발생된 산화물 박막의 표면 결함층이 산소 플라즈마에 의해 산화 및 표면 처리되어 우수한 물성을 가지는 산화물 박막 소자를 제조할 수 있다.