나노 구조체 배열의 제조방법 및 나노 구조체 배열을 포함하는 소자

Abstract

본 발명은 나노 구조체 배열을 제작하는 방법에 관한 것으로, 포커싱 층을 통과한 빛에 의해 레지스트층 계면에서 나노 사이즈의 패터닝을 일으키고, 이를 이용하여 기판상에 나노 구조체의 배열을 제작하는 다양한 방법을 제공한다. 상기 포커싱 층으로 비드 또는 렌즈의 배열을 사용하고, 바람직하게 레지스트층의 패터닝은 나노 사이즈의 개구부 및 그 하부로 연결된 언더컷 구조를 포함한다.본 발명에 의하면, 나노 구조체 배열에서 구조체의 크기, 형상 및 배열의 간격 조절이 용이하다.또한, 본 발명에 의하면 나노 구조체 배열을 포함하는 소자의 성능을 개선시킬 수 있다. 특히, 본 발명은 센서를 사용하는 환경 및 용도에 따라 감응도 및 신뢰성이 향상된 센서를 제공한다.