유기금속 기상 증착법에 의한 나노구조 화합물 열전반도체의 제조방법

Abstract

본 발명은 화합물 열전반도체의 제조방법에 관한 것으로, 금속유기화학 기상 증착법으로 나노구조의 열전반도체를 제조함으로써 열전성능을 높이고자 하는 것으로 구체적으로 본 발명에 따른 제조방법은 1) 반응관 내에서 전구체를 사전 반응시켜 나노사이즈의 파티클을 형성하는 단계 2) 상기 나노사이즈의 파티클을 기판상에 증착시키는 단계를 포함하여, 간단하고 경제적인 방법으로 나노구조의 결정립을 가지는 열전반도체를 제조함으로 우수한 열전성능을 가지는 화합물 열전반도체를 제조할 수 있다.