온도 및 다중 가스 감응 센서 어레이 및 이의 제조방법

Abstract

본 개시에서는, 절연 기판을 제공하는 단계

상기 절연 기판 상에 온도 감응용 물질층을 형성하는 단계

상기 온도 감응용 물질층을 패터닝하여 온도 감응막을 형성하는 단계

상기 온도 감응막 상에 절연막을 형성하는 단계

상기 전열막 상에 전도성 산화물 층을 형성하는 단계

상기 전도성 산화물 막을 패터닝하여 복수개의 전극 패턴 어레이를 형성하는 단계

상기 복수개의 전극 패턴 어레이 상에 복수개의 가스 감응막을 다층으로 형성하는 단계

및 상기 복수개의 가스 감응막을 선택적으로 식각하여 상기 복수개의 전극 패턴 어레이의 각각 위에 가스 감응막 어레이 - 상기 가스 감응막 어레이는 적어도 하나의 가스 감응막을 포함함 - 를 형성하는 단계를 포함하는 센서 어레이 제조 방법을 제공한다.