암시야 현미경 및 이를 이용한 산란광 검출 방법

Abstract

암시야 현미경은, 입사빔을 조사하는 광원

제1 영역 및 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하며, 입사빔이 시편으로부터 산란된 산란빔을 전파하는 대물렌즈

상기 대물렌즈를 통과한 산란빔이 전달되는 수신부

및 상기 제1 영역 및 상기 수신부를 광학적으로 차단하는 수단을 포함할 수 있다. 이를 이용한 산란광 검출 방법은, 상기 대물렌즈를 시편에 인접하여 배치하는 단계

시편에 입사빔을 조사하는 단계

입사빔이 시편으로부터 산란된 산란빔을 상기 대물렌즈를 통해 수신부 방향으로 전파하는 단계

상기 제1 영역을 상기 수신부로부터 광학적으로 차단하는 단계

및 상기 제2 영역을 통해 전파된 산란빔을 상기 수신부에서 수신하는 단계를 포함할 수 있다.