압전 폴리머 기판을 이용한 하이브리드 전기소자와 그제조방법

Abstract

본 발명은 여러 소자들을 하나의 유연 기판에 단일 유닛으로 구성한 복합 일체형 하이브리드 전기소자와 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 패턴화된 투명 산화 전극이 양면에 얇게 증착된 유연 압전 폴리머 기판을 이용하여 디스플레이 소자, 진동발생소자(또는 진동감지소자) 및 비휘발성 메모리 소자를 하나의 유연 압전 폴리머 기판에 단일 유닛으로 구성한 하이브리드 전기소자와 그 제조방법에 관한 것이다.