이중 박막을 갖는 마이크로 시스템용 발전기

Abstract

고온 열원에 연결된 가열판, 상기 가열판에 대향되는 위치에 배치되어 저온 냉원에 연결된 냉각판, 상기 냉각판으로부터 이격된 상태의 제1 위치와 상기 냉각판에 접촉한 상태의 제2 위치 사이에서 이동 가능하며 제2 위치에서 상기 냉각판으로 열을 전달할 수 있는 냉각 전열판, 상기 냉각 전열판을 지지하며 상기 냉각 전열판이 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동하는 동안 변형 가능하며 변형 시 전류를 발생하는 상부 박막, 상기 냉각 전열판과 일정한 거리를 유지하도록 구성되어 있고 상기 냉각 전열판이 상기 제1 위치에 있을 때 상기 가열판에 접촉한 상태로 되고 상기 냉각 전열판이 상기 제2 위치에 있을 때 상기 가열판으로부터 이격된 상태인 가열 전열판, 상기 가열 전열판을 지지하며 상기 가열 전열판이 이동하는 동안 변형 가능하며 변형 시 전류를 발생하는 하부 박막, 그리고 상기 상부 박막과 상기 하부 박막 사이의 공간을 측면에서 폐쇄하여 상기 냉각 전열판 및 상기 가열 전열판과 함께 유체를 수용하는 밀폐 공간을 형성하며 상기 냉각 전열판이 상기 제1 위치에 있을 때 보다 상기 제2 위치에 있을 때 더 큰 공간을 갖도록 하는 형상을 갖는 측면 단열수단을 포함하는 마이크로 시스템용 발전기가 개시된다.