가스 클러스터 이온 가속기를 이용한 나노 구조물 형성 방법

Abstract

본 발명은 가스 클러스터 이온 가속기를 이용한 나노 구조물 형성 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스 클러스터 이온 가속기를 이용하여 기판에 나노 구조물을 마스크 없이 형성할 수 있는 가스 클러스터 이온 가속기를 이용한 나노 구조물 형성 방법에 관한 것이다.본 발명은 클러스터 생성부를 통하여 소스 가스를 클러스터 상태로 변환한 후에 상기 이온화부를 통하여 이온화시켜서 이온 클러스터를 생성하는 단계

상기 렌즈부를 통하여 상기 이온 클러스터를 포커싱한 후에 상기 가속부를 통하여 가속시키는 단계

가속된 이온 클러스터를 상기 주사부를 통하여 미리 정해진 위치의 기판에 주사하여 수 nm∼수십 nm 크기의 힐록(Hillock)을 형성하는 단계를 포함하여, 나노 구조물을 형성하는 것을 특징으로 하는 가스 클러스터 이온 가속기를 이용한 나노 구조물 형성 방법을 제공한다.가스 클러스터, 노즐, 리플렉트론, 가속기, 이온