저온 측온 저항계용 박막 및 그의 제조방법

Abstract

본 발명은, 저온 영역에서 정확하며 작은 지자기의 영향을 받지 않는 매우 안정적인 산화물을 이용한 저온 측온계를 개발하기 위하여, 초거대 자기저항 특성을 갖는 (La, Nd 및 Pr 중 어느 하나) - (Ca, Sr, Ba 및 Pb 중 어느 하나) - Mn - O 의 박막으로, 상기 박막은 저온 영역에서의 저항값에 대한 자연대수값이 상기 저온 영역에서의 절대온도 변화에 대해 소정 오차 범위내의 1차 함수로 표시되는 저온 측온 저항계용 박막과, RF 마그네트론 스퍼터링법으로 기판위에 초거대 자기저항 특성을 갖는 (La, Nd 및 Pr 중 어느 하나) - (Ca, Sr, Ba 및 Pb 중 어느 하나) - Mn - O 의 박막을 증착하고, 600 내지 1000℃의 온도범위에서 산소분위기 또는 대기 중에서 0.5 내지 24시간 동안 열처리하는 저온 측온 저항계용 박막의 제조방법을 제공한다.