박막 제조방법
- Title
- 박막 제조방법
- Authors
- 김인태; 박재관; 박재환; 조운조
- Issue Date
- 1999-01-14
- Publisher
- 한국과학기술연구원
- Abstract
- 본 발명은 박막 제조방법에 관한 것으로, 종래 박막 제조방법은 졸-겔법에 의하여 박막을 제조할때 건조 첨가제를 사용하여, 박막에 크랙이 발생하는 것을 방지하였으나, 그 박막형성과정에서 건조 첨가제를 모두 증발시키기 위해 시간과 에너지가 많이 소모되는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 용매와 증류수의 혼합비를 조절하여 졸 용액의 표면장력을 제어하여 건조 첨가제를 사용한 경우와 같이 양질의 박막 평활도를 구현함으로써, 높은 끓는 점을 갖는 건조 첨가제를 증발시키기 위해 필요한 시간 및 에너지를 절약할 수 있으며, 건조 첨가제가 박막에 잔류할 경우 발생하는 박막의 특성 저하를 방지하여 박막의 특성을 향상시키는 효과가 있다.졸, 겔, 건조 첨가제
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- KIST Patent > ETC
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