나노안테나 배열의 제조 방법, 나노안테나 배열 칩 및 리소그래피용 구조물

Abstract

나노 안테나 배열 제조 방법은 기판 위에 레지스트층을 형성하는 단계

상기 레지스트층 위에 유전체 마이크로구조체 배열을 포함하는 포커싱층을 형성하는 단계

선형 디퓨저를 이용하여 빛을 일 방향으로 산란시키는 단계

상기 선형 디퓨저에 의해 산란된 빛을 상기 포커싱층 및 상기 레지스트층에 조사시킴으로써 상기 레지스트층에 비등방성의 패턴을 형성하는 단계

상기 기판 및 상기 패턴이 형성된 레지스트층에 플라즈모닉 공진 특성을 갖는 물질을 증착하는 단계

및 상기 레지스트층 및 상기 레지스트층상에 증착된 물질을 제거함으로써 상기 기판상에 나노 안테나 배열을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 선형 디퓨저에 의한 빛의 산란 각도 및 상기 유전체 마이크로구조체의 크기는 형성하고자 하는 패턴의 종횡비에 기초하여 결정된다.