엔(N)-캠퍼술폰일옥시말레이미드 및 그의 제조방법

Abstract

본 발명은 N-캠퍼술폰일옥시말레이미드 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 공중합체의 단위로서 N-캠퍼술폰일옥시말레이미드와 말레이미드계 화합물, 스티렌계 화합물, 및 메타크릴산에스테르계 화합물중에서 선택된 한가지 또는 두가지를 교대 구조로 가진 공중합체를 제조하는데 사용되며, 이러한 공중합체는 양호한 필름 형성능과 낮은 광흡수율을 나타내며 레지스트 응용에 매우 적절한 고분자이다. 본 발명의 N-캠퍼술폰일옥시말레이미드의 제조방법은 전체적으로 합성방법이 간편하고 원료가 자연산에서 유도가능하므로 대량생산이 가능하다.