티타늄계 합금 박막으로 이루어진 고밀도 자기기록 매체용하지층

Abstract

본 발명은 하기 화학식 (1) 또는 화학식 (2)로 표시되는 티타늄(Ti)계 합금 박막으로 이루어진 고밀도 자기 기록 매체용 하지층에 관한 것이다.AxTi1-x AxTi(1-x-y)My 상기 식에서, A는 철(Fe), 니켈(Ni) 또는 코발트(Co) 중에서 선택되는 전이금속 원소이며, M은 Mg, Al, Si, Ca, V, Cr, Mo, Cu, Zn, Ge, Zr, Mn, Ag, Sn, W, Ta, Nb 및 Pt로 이루어지는 군 중에서 선택되는 1종 이상의 추가 원소이고,x는 원자%로서 48 ≤ x ≤ 55.5 이고,y는 원자%로서 0 〈 y ≤ 10 이다. 본 발명의 티타늄계 합금 박막으로 이루어진 하지층을 포함하는 고밀도 자기 기록용 매체는 자기적 특성과 미세 구조에 있어서 기존의 순 Cr 하지층을 사용한 자기기록용 매체에 비해 우수하며, 그 위에 성막된 CoCr계 자성층과 양호한 집합조직을 이루어 미세한 결정립 분포, 높은 보자력 및 높은 각형비를 나타낸다.