나노 와이어를 이용한 프로브, 및 프로브 제조방법

Abstract

본 발명의 프로브는 단결정 금속 나노와이어로 이루어진 프로브용 팁과 프로브용 팁이 연결된 모체를 구비하여 포함된다. 본 발명에 의하면, 단결정 금속 나노와이어를 이용하여 프로브를 제작하여 높은 초탄성 현상으로 인해 소자의 표면에 손상을 가하지 않으면서 일정한 하중으로 소자의 전기적인 물성을 측정하는 것이 가능하도록 하고, 높은 신뢰성, 높은 안정성, 낮은 저항을 가질 수 있게 된다.