ＺｎＯ 박막 성장방법 그리고 이를 이용한 박막태양전지 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 ZnO 박막 적층시 003c#0002003e# 방향 및 003c#1120003e# 방향의 성장을 동시에 유도하여 ZnO 박막의 표면 요철 상태를 U자형으로 구현함으로써 텍스쳐링 공정 등 별도의 후처리 공정이 요구되지 않은 ZnO 박막 성장방법 그리고 이를 이용한 박막태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 ZnO 박막 성장방법은 MOCVD(metal-organic chemical vapor deposition) 방법을 이용하여 ZnO 박막을 성장함에 있어서, ZnO 박막 증착시 1) 증착 온도 조절, 2) 증착 압력 조절, 3) 전구체들의 주입량 비율 조절 중 어느 하나 이상을 통해, 003c#0002003e# 방향의 집합조직과 003c#1120003e# 방향의 집합조직을 동시에 성장시키는 것을 특징으로 한다.