SF6 분리회수장치 및 방법

Abstract

본 발명은 복수의 분리막 모듈을 이용하여 SF6를 회수함에 있어서 주입기체의 유량 변화에 대응하여 분리막 모듈에 인가되는 압력을 조절함과 함께 운전되는 분리막 모듈의 수를 선택적으로 조절함으로써 일정 비율로 농축된 SF6를 회수할 수 있는 SF6 분리회수장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 SF6 분리회수장치는 SF6를 포함하는 폐가스를 공급하는 폐가스 공급부와, 상기 폐가스 공급부로부터 공급되는 폐가스를 회수기체와 투과기체로 분리하는 복수의 분리막 모듈과, 상기 복수의 분리막 모듈에 공급되는 폐가스 유량을 측정하는 유량측정수단과, 상기 각각의 분리막 모듈에 진공압을 인가하는 진공펌프 및 상기 유량측정수단에 의해 측정된 폐가스 유량(Ff)을 아래의 식에 대입하여 압력차(ΔP)를 산출하고, 상기 압력차(ΔP)와 미리 설정된 분리막 모듈의 내외부 압력차(ΔPm) 사이의 차이값(ΔP-ΔPm)을 산출하며, 상기 차이값(ΔP-ΔPm)에 해당하는 진공압이 상기 분리막 모듈에 인가되도록 상기 진공펌프를 제어하는 제어수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. (식) ΔP = Ff·SC / (Q·A)(ΔP는 분리막 모듈의 내외부 압력차, Ff는 분리막 모듈에 공급되는 폐가스 유량, SC는 주입되는 폐가스 유량 대비 투과기체의 유량, Q는 분리막 모듈의 투과도, A는 분리막 모듈의 유효면적)