독립형 부유 전극 구조의 입자 포집 장치 및 이를 이용한 입자 포집 방법

Title
독립형 부유 전극 구조의 입자 포집 장치 및 이를 이용한 입자 포집 방법
Authors
김재헌김철기박유신백지민변영태서민아송현석우덕하유용상유의상이석이종수이택진전명석전영민
Issue Date
2020-08-03
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명에 일 실시예에 따르면, 기판 상에 제공되는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에 제공되는 절연층; 상기 제1 전극과 마주하는 형태로 제공되며, 상기 절연층과 이격되어 제공되는 제2 전극; 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 이격된 형태로 상기 절연층 상에 제공되며, 상기 제1 전극과 인접한 제1 면 및 상기 제2 전극과 인접한 제2 면을 갖는 부유 전극; 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결하는 전원부를 포함하고, 상기 전원부는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 상반되는 극성의 전하를 교번적으로 반복하여 인가하고, 상기 부유 전극의 상기 제1 면은 상기 제2 전극과 동일한 극성을 띠고, 상기 부유 전극의 상기 제2 면은 상기 제1 전극과 동일한 극성을 띠고, 상기 부유 전극 제1 면과 상기 부유 전극 제2 면의 전하 변화를 이용하여 입자를 포집하는, 입자 포집 장치가 제공된다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2020
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE