독립형 부유 전극 구조의 입자 포집 장치 및 이를 이용한 입자 포집 방법

Abstract

본 발명에 일 실시예에 따르면, 기판 상에 제공되는 제1 전극

상기 제1 전극 상에 제공되는 절연층

상기 제1 전극과 마주하는 형태로 제공되며, 상기 절연층과 이격되어 제공되는 제2 전극

상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 이격된 형태로 상기 절연층 상에 제공되며, 상기 제1 전극과 인접한 제1 면 및 상기 제2 전극과 인접한 제2 면을 갖는 부유 전극

및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결하는 전원부를 포함하고, 상기 전원부는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 상반되는 극성의 전하를 교번적으로 반복하여 인가하고, 상기 부유 전극의 상기 제1 면은 상기 제2 전극과 동일한 극성을 띠고, 상기 부유 전극의 상기 제2 면은 상기 제1 전극과 동일한 극성을 띠고, 상기 부유 전극 제1 면과 상기 부유 전극 제2 면의 전하 변화를 이용하여 입자를 포집하는, 입자 포집 장치가 제공된다.