물리적 기상증착 장치용 기판 홀더

Title
물리적 기상증착 장치용 기판 홀더
Authors
강상웅김인호김진환이도권장윤희
Issue Date
2020-11-26
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명에 따른 물리적 기상증착 장치용 기판 홀더는, 물리적 기상증착 장치의 진공챔버 내부에 장착되는 것으로, 베이스; 상기 베이스에 고정되고, 복수의 기판을 고정하며, 상기 기판의 증착 표면의 소스물질에 대향하여 노출시키는 기판 고정판; 상기 복수의 기판의 각 기판에 대응하여 제공되고, 상기 각 기판의 증착 표면을 개별적으로 블로킹 할 수 있게 제공되며, 개방 위치와 블로킹 위치 사이에 이동하여 상기 증착표면으로의 증착물질 이동을 허용하거나 차단할 수 있게 설치된 셔터; 상기 셔터를 구동하는 모터; 및 상기 모터의 구동을 제어하는 제어모듈을 포함한다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2020
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE