물리적 기상증착 장치용 기판 홀더

Abstract

본 발명에 따른 물리적 기상증착 장치용 기판 홀더는, 물리적 기상증착 장치의 진공챔버 내부에 장착되는 것으로, 베이스

상기 베이스에 고정되고, 복수의 기판을 고정하며, 상기 기판의 증착 표면의 소스물질에 대향하여 노출시키는 기판 고정판

상기 복수의 기판의 각 기판에 대응하여 제공되고, 상기 각 기판의 증착 표면을 개별적으로 블로킹 할 수 있게 제공되며, 개방 위치와 블로킹 위치 사이에 이동하여 상기 증착표면으로의 증착물질 이동을 허용하거나 차단할 수 있게 설치된 셔터

상기 셔터를 구동하는 모터

및 상기 모터의 구동을 제어하는 제어모듈을 포함한다.