시소운동이 적용된 기판장착장치

Title
시소운동이 적용된 기판장착장치
Authors
김인호김진환이도권이하람장윤희
Issue Date
2020-11-27
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 시소운동이 적용된 기판장착장치에 관한 것이다. 상기 장치는, 증착 대상 기체를 상향 증발시키는 증발원; 상기 증발원의 상측에 이격 배치된 베이스 고정부; 상기 베이스 고정부의 하측에 배치된 베이스; 상기 베이스의 양단이 서로 반대방향으로 상하 운동하는 시소 운동을 수행하도록 일측이 상기 베이스 고정부에 회전 가능하게 장착되고 타측이 상기 베이스에 장착되는 시소 회전축; 기판이 장착되는 기판 홀더로서, 상기 베이스의 하측에서 상기 베이스에 연결되어 상기 베이스와 함께 시소운동 가능한 기판 홀더; 및 상기 시소 회전축의 회전을 제어하여 상기 기판 홀더의 시소 운동시 틸팅 각도를 조절하는 틸팅 구동부를 포함할 수 있다.
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KIST Patent > 2020
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