다공성 박막을 이용한 메쉬형 분무 장치 및 이의 제조방법

Title
다공성 박막을 이용한 메쉬형 분무 장치 및 이의 제조방법
Authors
강동현김동준박기주박진수성혜정심신용이병철
Issue Date
2021-01-25
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
일 실시예에 따른 메쉬형 분무 장치는, 복수의 관통홀 구조를 갖는 다공성 박막; 상기 다공성 박막의 표면 중 관통홀을 통해 액적이 분무되는 노즐 영역을 제외한 나머지 영역을 덮도록 형성되는 금속층; 및 초음파를 출력하여 상기 다공성 박막을 진동시키는 초음파 진동자를 포함한다. 실시예에 따르면, 나노미터 크기의 관통홀로 이루어진 다공성 박막을 이용하여 액체를 나노미터 수준의 미세 입자로 만들어 분무할 수 있다. 제조공정에서 노즐의 형태, 크기, 주기를 설정하여 분무되는 액적의 크기를 정밀하게 조절할 수 있고, 전기도금을 통해 다공성 박막의 관통홀 내에 금속물질을 성장시킴으로써 메쉬의 강성을 선택적으로 증가시킬 수 있다.
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KIST Patent > 2021
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