3차원 적층 구조의 상부층으로의 스레딩 변전위의 전파가 억제되는 트렌치 구조를 갖는 반도체 소자

Abstract

실시예들은 제1 물질로 이루어진 기판

상기 기판의 상부면 상에 형성된 절연층

상기 기판을 향해 관통하는, 상기 절연층에 형성된 트렌치

및 상기 트렌치에 배치된 시드층을 포함한 반도체 소자와 관련된다. 상기 시드층은 제2 물질로 이루어지고, 상기 제2 물질은 상기 제1 물질에 대해 격자 불일치(mismatch)하고, 상기 시드층은 상기 기판의 상부면과 비-평행하고 (111) 면의 003c#110003e# 방향에 평행한 제1 방향으로 적어도 부분적으로 연장된 스레딩 전위 및 제2 방향으로 적어도 부분적으로 연장된 스레딩 전위를 포함하고, 상기 스레딩 전위의 연장은 상기 트렌치의 측벽에서 종료된다.