UV 광경화와 열경화가 가능한 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체, 이를 포함하는 절연층 조성물 및 이를 이용한 미세회로패턴 형성방법

Abstract

본 발명은 UV와 열경화가 가능한 사다리형 폴리실세스퀴옥산 공중합체와 이의 제조방법에 관한 것으로, 별도의 첨가제없이 단독으로 티올-엔 클릭반응을 통해 원하는 부위에만 제어된 기능성을 제공할 수 있으므로, 저유전상수를 갖는 절연층 뿐만 아니라 별도의 에칭공정 없이 미세회로패턴을 형성할 수 있는 기능성을 동시에 구현할 수 있다.