뉴로모픽 컴퓨팅 시스템에 사용되는 다층의 중간 장벽막을 이용한 플래시 메모리 장치

Abstract

뉴로모픽 컴퓨팅 시스템에 사용되는 다층의 중간 장벽막을 이용한 플래시 메모리 장치를 제공한다. 플래시 메모리 장치는 기판, 기판 상에 배치되는 채널막, 채널막의 양단부에 배치되는 소스 및 드레인, 채널막 상에 배치되는 터널링 절연막, 터널링 절연막 상에 배치되며, 복수의 질화물층들을 포함하는 트랩핑막, 트랩핑막 내에 삽입되며, 고유전율 산화물층을 포함하는 중간 장벽막, 트랩핑막 상에 배치되는 블로킹 절연막, 및 블로킹 절연막 상에 배치되는 상부 게이트를 포함한다.