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헥사고날 보론 니트라이드 박막의 제조 방법 및 이를 이용한 다층 구조의 제조 방법 및 스위칭 소자의 제조 방법

Author

박재현; 김재경; 심유민

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2020-01-28

Registration No.

10-2072580

Application Date

2018-11-06

Application No.

10-2018-0134962

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/79346

Appears in Collections:

KIST Patent > 2018

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