KIST Library Institutional Repository

전압을 인가하여 에피택셜 리프트오프 공정을 고속화하기 위한 반도체 소자의 제조 방법 및 식각 장비

Author

김상현; 김형준; 최원준; 심재필; 김성광

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2019-01-08

Registration No.

10-1938230

Application Date

2016-09-28

Application No.

2016-0124630

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/80056

Appears in Collections:

KIST Patent > 2016

Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Export

RIS (EndNote)

XLS (Excel)

XML