KIST Library Institutional Repository

High-k 절연층 위에 보론 나이트라이드 단일 원자층 직접 전사법을 활용한 차세대 게이트 다이일렉트릭 구현

Author

이동준; 박재현

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2022-01-14

Registration No.

10-2353225

Application Date

2020-11-18

Application No.

10-2020-0154191

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/82388

Appears in Collections:

KIST Patent > 2020

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