전기장 결합형 플라즈마 화학증착법에 의한 투명한 도전성 금속 복합박막의 제조방법

Author
이중기조 병 원우 주 만전 법 주김형석임 태 훈이 준 상최용락오인환
Assignee
한국과학기술연구원
Regitration Date
2006-08-09
Registration No.
0613405
Application Date
2004-04-10
Application No.
2004-0024733
Country
KO
URI
https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84534
Appears in Collections:
KIST Patent > 2004
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