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비냉각 적외선 센서 제작을 위한 스파타링 방법에 의한 PZT 박막형성 및 식각특성 평가

Authors

Oh, Young Jei

Issue Date

1999-11-19

Citation

제 10회 적외선 영상센서 Conference, pp.0

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84867

Appears in Collections:

KIST Conference Paper > Others

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