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결정 희생층의 자가 확산 방식으로 도핑된 고결정 산화물 박막과 그 제조 방법

Author

강종윤; 한수덕; 김진상; 백승협; 허성훈; 김성근; 송현철; 윤정호; 장지수; 최지원

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2023-03-13

Registration No.

10-2510607-0000

Application Date

2022-06-21

Application No.

10-2022-0075738

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85274

Appears in Collections:

KIST Patent > 2022

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