KIST Library Institutional Repository

극자외선 포토 리소그래피용 마스크 결함 분석을 위한 결맞음 회절 이미징 촬영 카메라 자동 정렬 시스템

Author

박민철; 전영민; 우덕하; 조정근; 조성진; 이동수

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2013-10-22

Registration No.

10-1322909

Application Date

2012-11-27

Application No.

2012-0135482

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86737

Appears in Collections:

KIST Patent > 2012

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