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산소와 수분 투과의 차단 및 가스 배리어 특성 향상을 위한 Co-sputtering 시스템 및 무기 박막 형성 방법

Author

김재경; 최준환; 박정수; 나대석

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2013-07-01

Registration No.

10-1282959

Application Date

2010-10-28

Application No.

10-2010-0105898

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89826

Appears in Collections:

KIST Patent > 2010

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