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높은 소자 수율을 나타내는 상온 공정에 의한 저항 변화 기억 소자용 다층의 금속 산화물 박막 구조물 제조 방법

Author

이전국; 박동희; 양민규

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2011-01-12

Registration No.

1009441

Application Date

2009-02-06

Application No.

2009-0009942

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90149

Appears in Collections:

KIST Patent > 2009

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