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반도체 박막의 결정화를 도와주는 결정화 촉매 금속 원소와 자기장을 이용한 반도체 박막의 결정화 방법 및 그 장치

Author

한승희; 문선우; 김성민; 김정수; 장진혁; 이승민; 김경훈

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2014-11-18

Registration No.

10-1466975

Application Date

2013-07-01

Application No.

2013-0076213

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92523

Appears in Collections:

KIST Patent > 2013

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