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이온 빔 보조 식각 방법을 이용한 GaAs/AlGaAs 저손실 광도파로의 제작 .

Title
이온 빔 보조 식각 방법을 이용한 GaAs/AlGaAs 저손실 광도파로의 제작 .
Authors
박경현; 변영태; 김영환; 김선호; 최상삼; 조욱래; 박승한; 김웅
Keywords
이온 빔 보조 식각 방법(IBAE); ECR 이온 식각법; MBE 성장 기법; 저손실 광도파로
Issue Date
1995-11
Publisher
Photonics Coference '95
Citation
, 253-254
URI
https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/9367
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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