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전자 싸이클로트론 공명 플라즈마와 펄스형 직류 바이어스결합형 상온 화학 증착 시스템 및 이를 이용한 금속복합막 제조방법

Author

이중기; 조병원; 박달근; 최용락; 우주만

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2005-03-29

Registration No.

481685

Application Date

2002-06-20

Application No.

2002-0034635

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/99377

Appears in Collections:

KIST Patent > 2002

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