Showing results 18 to 24 of 24
Issue Date | Title | Author(s) |
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- | Reliability of Cu/W-N thin films deposited on low dielectric constant SiO:F ILD | 이석형; 김동준; 양성훈; 박정원; 손세일; 오경희; Kim Yong Tae; 박종완 |
2000-01-08 | TaSiNx확산 방지막의 제조방법과 그를 이용한 반도체 소자의 접촉접합및 다층금속 배선 | 김동준; 김용태 |
1997-10 | Thermal stabilities of PECVD W-B-N thin films as a diffusion barrier. | 김용태; 김동준; 이창우; 박종완 |
2023-09-18 | 다공성 박막을 이용한 메쉬형 분무 장치 및 이의 제조방법 | 이병철; 강동현; 심신용; 성혜정; 박진수; 박기주; 김동준 |
- | 질소이온 주입된 질화텅스텐박막의 구리배선용 확산방지막 특성 . | Kim Yong Tae; 권철순; 김동준; Min Suk-Ki |
2000-02-10 | 초고집적 기억소자 및 비기억소자를 위한WBxNy확산방지막 제조방법 및 그를 이용한 다층금속연결 배선방법 | 김동준; 김용태 |
- | (Undefined) | Kim Yong Tae; 김동준; 박종완; 권철순; Min Suk-Ki |